脈衝磁（cí）控濺射是（shì）一種用矩形（xíng）波（bō）電壓脈衝電源代替傳統直流電（diàn）源的方法。脈衝濺射可（kě）以有效抑製電弧的產生，消除由此產生的薄膜缺陷，同時可以提高濺射的沉（chén）積速率，降低沉積溫度等一係列顯著優點，是濺射絕緣材料沉積（jī）的工藝。脈衝磁控濺射的（de）工作原理一個（gè）周期有正電壓

說起單極脈衝磁控濺射電源，可能有點困惑，但（dàn）我想說的是，它是對直流磁控濺射電源的升級，是不是突然明（míng）白了？脈衝磁控濺射是用矩形波電壓脈衝電源代替傳（chuán）統直流電源的一種方法。脈衝濺射（shè）可（kě）以有效（xiào）地抑製電弧的（de）產生，消除由此產生的薄膜（mó）缺陷，同時可以提高（gāo）濺射的