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偏壓電源類型

2024-06-10

脈衝偏壓電源是（shì）真空電弧離子鍍（dù）和磁控濺射鍍膜或其他真空物理氣相沉積（jī）設備的重要組成部分，對於不同（tóng）的鍍膜工藝，偏壓電源也分為不同的類型根據波形可以分為（wéi）：一、直流偏壓電源二、直流脈（mò）衝偏置主要特點1.高頻單（dān）極脈衝對工件施加偏壓，與直流（liú）偏壓相比，由於電

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