偏（piān）壓電源（yuán）類型

脈衝偏壓電源是真空電弧離子鍍（dù）和磁控濺射鍍膜（mó）或其他真空物理氣相（xiàng）沉積（jī）設備的重要組成部分，對於不同的鍍膜（mó）工藝，偏壓電（diàn）源也（yě）分為不同的類型

根據波形可以分為：

一、直流偏壓電源（yuán）

二、直流脈衝偏置

主要特點

1.高頻單極脈衝對工件（jiàn）施加偏壓，與直流偏壓相比，由於電壓中斷間隙的存在，可以有效減（jiǎn）少點火次（cì）數，保護工件表麵。

2.在脈衝間隙期間（jiān），可以（yǐ）中和工件（jiàn）表（biǎo）麵積（jī）聚的電荷，從而減少（shǎo）表麵電荷積聚引起的（de）點火。

3.高頻逆變器技術的快速關斷能力可以有效地減少（shǎo）每個火花釋（shì）放的能量，即使在火花出現時，也可以顯著（zhe）降低工件表麵的大損傷程度。

4.在脈衝間隙期間沉積到工件表麵的離（lí）子能量非（fēi）常低。

5.可以通過調節頻率和占空比來提高和控製成膜速度和質量。

三、直流疊加脈衝偏置

主要特點

1.具有單極脈衝偏置電（diàn）源的所有（yǒu）特性。

2.在（zài）直流（liú）和直（zhí）流疊加脈衝模式下，消除（chú）了單極脈衝間隙之間離（lí）子能量低的問題。

四、雙極脈衝偏置（zhì）

主（zhǔ）要特點

1.負脈（mò）衝的（de）作用與單極脈衝偏置電源相同，正脈衝的作用主要是吸引等離子體中（zhōng）的電子，以中和工件表麵正（zhèng）電荷的積累。因為（wéi）電子的質（zhì）量比離子（zǐ）的質量小得多，加速很容易，所以正脈衝的振幅比負脈（mò）衝的振幅小得多——通常為10~100V，正負脈衝的電流積分應（yīng）該相等。因此，正電源的功率遠小於負電源的功率（lǜ）。

2.當正電源（yuán）電壓為（wéi）零時（shí），雙極脈衝偏壓（yā）變為單極脈衝偏（piān）壓。