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江蘇MSDP單(dān)極脈衝磁控濺射電源

江蘇MSDP單極脈衝磁控濺射電源

  • 所屬分類:江蘇MSDP單極脈衝磁控濺射電源
  • 瀏覽次數:次(cì)
  • 發布日期:2020-10-21 09:43:33
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

主要(yào)型號:

型號

功率

(kW)

最大(dà)工作(zuò)

電流(A)

外形

尺寸

冷卻

方式

空載(zǎi)電壓

(V)

工作電壓

(V)

MSDP-10k

10

12.5

1單元



風冷



1000



200~800V

MSDP-20k

20

25

1單元

MSDP-30k

30

37.5

2單元

MSDP-40k

40

50

2單元


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主要特點(diǎn):
   A 明顯(xiǎn)改善靶麵電荷(hé)積累現象(xiàng),減小濺射表麵的打火次數,提高(gāo)膜層質量。
   B 具有平均電源穩(wěn)定功能,具有理(lǐ)想的電壓陡降特性,
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
   C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
   D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
   E 可選擇手動控製/模擬量(liàng)接口控製(zhì),可選配RS485通訊接口(kǒu)。
采(cǎi)用先進的(de)PWM脈寬調製技術,使用進口IGBT或MOSFET作為(wéi)功(gōng)率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工(gōng)藝嚴格完善(shàn)。
該係列產品采用(yòng)先進的DSP控製係統(tǒng),充分保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶材弧光放(fàng)電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數均可(kě)大範圍連續調節;
方(fāng)便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口(kǒu)擴展功能,方便實現自動化控製。


主要用途:

單極脈衝磁控濺射(shè)適用於金屬、合金及石(shí)墨等靶材鍍製金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。


鏡片在接受(shòu)鍍膜前(qián)必須進行預清(qīng)洗,這種清洗(xǐ)要求很高,達到分子(zǐ)級。在(zài)清洗槽中分別放置各種清洗液,並采(cǎi)用超聲波加強清洗效果,當(dāng)鏡片清洗完後,放進真空艙內,在此過程中要特別注意避(bì)免(miǎn)空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內(nèi),在此過程中要特別注意避(bì)免空氣中的灰塵和(hé)垃圾再黏(nián)附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前進行的(de),放置在真空(kōng)艙內(nèi)的離子槍將轟(hōng)擊鏡片的表麵(例如用氬離子),完成此道清(qīng)洗工(gōng)序後即進行減反射(shè)膜的鍍膜。

真(zhēn)空鍍膜電源為什麽在現在會應用那麽多呢,有哪些明顯的效果?

真空(kōng)鍍膜(mó)電源

概念的區別:

1、真空鍍膜是指在高真空的條件下加(jiā)熱金屬或非金屬材(cái)料(liào),使其蒸發並凝結於鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表麵而形成薄膜的一種方法。例如,真空(kōng)鍍(dù)鋁、真空鍍鉻等。


2、光學鍍膜是指在光學零件表麵上鍍上一層(或多層)金屬(或介質)薄(báo)膜的工藝過程。在光學零件表麵鍍(dù)膜的目的是為了達到減少或增(zēng)加光的反射、分束、分(fèn)色、濾光(guāng)、偏振等要求。常用的鍍(dù)膜法有真空(kōng)鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。


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