主要(yào)型號:
型號 | 功率 (kW) | 最大(dà)工作(zuò) 電流(A) | 外形 尺寸 | 冷卻 方式 | 空載(zǎi)電壓 (V) | 工作電壓 (V) |
MSDP-10k | 10 | 12.5 | 1單元 | 風冷 | 1000 | 200~800V |
MSDP-20k | 20 | 25 | 1單元 | |||
MSDP-30k | 30 | 37.5 | 2單元 | |||
MSDP-40k | 40 | 50 | 2單元 |
主要特點(diǎn):
A 明顯(xiǎn)改善靶麵電荷(hé)積累現象(xiàng),減小濺射表麵的打火次數,提高(gāo)膜層質量。
B 具有平均電源穩(wěn)定功能,具有理(lǐ)想的電壓陡降特性,
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
E 可選擇手動控製/模擬量(liàng)接口控製(zhì),可選配RS485通訊接口(kǒu)。
采(cǎi)用先進的(de)PWM脈寬調製技術,使用進口IGBT或MOSFET作為(wéi)功(gōng)率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工(gōng)藝嚴格完善(shàn)。
該係列產品采用(yòng)先進的DSP控製係統(tǒng),充分保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶材弧光放(fàng)電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數均可(kě)大範圍連續調節;
方(fāng)便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口(kǒu)擴展功能,方便實現自動化控製。
主要用途:
單極脈衝磁控濺射(shè)適用於金屬、合金及石(shí)墨等靶材鍍製金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。
鏡片在接受(shòu)鍍膜前(qián)必須進行預清(qīng)洗,這種清洗(xǐ)要求很高,達到分子(zǐ)級。在(zài)清洗槽中分別放置各種清洗液,並采(cǎi)用超聲波加強清洗效果,當(dāng)鏡片清洗完後,放進真空艙內,在此過程中要特別注意避(bì)免(miǎn)空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內(nèi),在此過程中要特別注意避(bì)免空氣中的灰塵和(hé)垃圾再黏(nián)附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前進行的(de),放置在真空(kōng)艙內(nèi)的離子槍將轟(hōng)擊鏡片的表麵(例如用氬離子),完成此道清(qīng)洗工(gōng)序後即進行減反射(shè)膜的鍍膜。
真(zhēn)空鍍膜電源為什麽在現在會應用那麽多呢,有哪些明顯的效果?
概念的區別:
1、真空鍍膜是指在高真空的條件下加(jiā)熱金屬或非金屬材(cái)料(liào),使其蒸發並凝結於鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表麵而形成薄膜的一種方法。例如,真空(kōng)鍍(dù)鋁、真空鍍鉻等。
2、光學鍍膜是指在光學零件表麵上鍍上一層(或多層)金屬(或介質)薄(báo)膜的工藝過程。在光學零件表麵鍍(dù)膜的目的是為了達到減少或增(zēng)加光的反射、分束、分(fèn)色、濾光(guāng)、偏振等要求。常用的鍍(dù)膜法有真空(kōng)鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。
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