真空鍍膜電源采用先進的PWM脈衝寬度調製技術性,具備良好的動態性性能和抗幹擾性才可以,動態性映襯時時刻刻十(shí)分小。整體(tǐ)規劃有工作(zuò)電壓.電流量雙閉(bì)環(huán)控製操控電源電路,可即(jí)時對輸出電流電壓的操(cāo)控(kòng)。在起弧和維弧時要積極急速操控電流電壓使起弧和維弧工(gōng)作更(gèng)穩(wěn)定,減壓(yā)穩壓閥精密度大大的發展(zhǎn),能有效節約濺射(shè)靶材使用量,發展生(shēng)產能力,保(bǎo)證 鍍膜品質。
真空(kōng)機電源的大的特點及產品優點:采用了先進(jìn)的PWM脈(mò)衝寬度調製技術性,具備良好的動態性性能和抗幹擾性才可以,動態性映襯時時刻刻低於10mS。整體規劃有工作電壓.電流量雙閉環(huán)控製操控(kòng)電(diàn)源電路,可即時對輸出電流電壓的操控,能有效解決磁控濺射流程中負極相對孔徑(jìng)的不清理造成電光充放電導(dǎo)致大電流量(liàng)衝擊性造成電源的毀壞疑惑。
采用智能化DSP操控技(jì)術性,積極操控電源的恒流源恒流電源情況。在起弧和維弧時要積極急速操控電(diàn)流電壓使起弧(hú)和維弧工作更穩定。具備工作電壓陡降(jiàng)特點,可充足令人滿意射頻濺射的特別要求。
電源的輸出(chū)電(diàn)流電壓操控精密度低於0.2%。具備模擬量輸(shū)入操控插口,客戶的4-20mA數據信號能操控電源的(de)電流電壓,電源輸出4-20mA數(shù)據信號供客戶的PLC呈現電源的輸(shū)出電流電壓。電(diàn)源的功率因素達到0.95,電源(yuán)輸出功率≥90%。
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