真空鍍膜有蒸發鍍(dù)膜、濺射鍍膜和離子鍍膜三種形(xíng)式:當濺射鍍膜用高能(néng)粒子轟擊固體表麵時(shí),可以獲得固體表麵的粒子。能量(liàng)從表麵逸出並沉(chén)積在基(jī)板上;離(lí)子鍍蒸(zhēng)發物質的分子通過電子撞擊被電離,並以離子的形式沉(chén)積在固體表麵。
所有三種形式的真(zhēn)空鍍膜(mó)技術都需(xū)要(yào)快速冷卻裝置來輔助真空鍍膜(mó)過程。由於工件在鍍膜過程中處於封閉的真空環境中(zhōng),真空設備失去了很多產品技術和性能。現有的真空鍍膜設備也有冷卻(què)裝置,但其冷(lěng)卻效(xiào)果(guǒ)不是很理想。

不能滿足人們的需要,為彌補現有技術的不足,真空(kōng)鍍膜電源廠家提供一種(zhǒng)真空鍍膜設備手套箱蒸(zhēng)發一體機。該係統集(jí)成了真空鍍膜係統(tǒng)和手套箱係統,可在(zài)高(gāo)真空蒸發室中完成(chéng)薄膜(mó)蒸發。樣品在手套箱中的高純度惰性氣體氣氛下蒸發後儲存(cún)、製備和測試。為保證塗層產品工藝和性能質量要求而設置的快速冷卻係統,可實現(xiàn)快速冷卻自動(dòng)控(kòng)製的目的。
蒸發鍍膜與(yǔ)手套(tào)箱相結合,實現了(le)蒸發、封裝、測試等過(guò)程的全封閉生產,使整個薄膜生長和器件製備(bèi)過程高度集成在一個環境氣氛可(kě)控(kòng)的(de)完整係統中(zhōng),無需有(yǒu)機大-區域電路準備。大氣環境中(zhōng)不穩定因素(sù)的影響,保證了高性能、大麵積有機(jī)光電器件和(hé)電路的製備。
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