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關於真空離(lí)子(zǐ)鍍膜的作用

2020-07-25 00:00:00

真(zhēn)空(kōng)鍍膜(mó)電源廠家(jiā)的(de)在(zài)真空離子鍍膜中,尤其對於多弧離子鍍膜,無論是裝飾鍍還是工具鍍,轟偏(piān)電源的好壞對於成膜質量都起著非常關鍵的作用。裝飾鍍和工具鍍對膜層質量的要求(qiú)有相同之處又各有(yǒu)側重。

離子源(yuán)電(diàn)源

離子(zǐ)鍍(dù)是真空室中,利用氣體放電或被(bèi)蒸發物質部分(fèn)離化,在氣體離子或被蒸(zhēng)發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸(zhēng)發物或反應(yīng)物沉積在(zài)基片上。離(lí)子鍍把 輝光放電現象、 等離子體技術和真(zhēn)空蒸發三者有機結合起來,不僅能明(míng)顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用範圍。多(duō)弧電源(yuán)其優點是薄膜 附著力強,繞射性好,膜材廣泛等。D.M.首次提出離子鍍原理,起工作過程是:


先將真空室抽至4×10(-3)帕以上的真空度,再接通高(gāo)壓(yā)電源(yuán),在蒸發源與基片之間建立一(yī)個(gè)低(dī)壓氣體放電的 低溫等離子區。基片電極接上5KV直流負高壓,從而形成光放(fàng)電陰極。輝光放電(diàn)去產生的惰性氣體離子進入陰極暗區被(bèi)電場加速並轟擊基片表麵,對其(qí)進行(háng)清洗。然(rán)後計入鍍膜過程,加熱使鍍料氣化,起原子進入等離子(zǐ)區,與惰性氣(qì)體離子及(jí)電子發生碰撞,少部分產生離化。離化後的例子及氣體離子以較高能量轟擊鍍層表麵,致使膜層質(zhì)量得到改善。


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