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1、真空鍍膜電源每（měi）完成200個鍍膜（mó）程序以上，應清潔工作室（shì）一（yī）次。方（fāng）法是：用燒堿（NaOH）飽（bǎo）和溶液反複擦（cā）洗真空室內壁，（ 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷（shāng））目的（de）是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發生反（fǎn）應，反應後膜層脫落，並釋放出氫氣。再（zài）用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內（nèi）的汙垢。
2、當粗抽泵（滑閥泵（bèng），旋片泵）連續工作一個月（雨季減半），需更換新油。方法是（shì）：擰開放油螺栓，放掉舊油（yóu），再將泵啟動數秒，使泵內的舊油完全排放出（chū）來。擰（nǐng）回放油螺栓，加入新油至額（é）定量（油視鏡觀察）。連續使用半年以上，換油時應將油蓋打開（kāi），用布擦幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗（xǐ）衣粉兌水清洗一遍，然後用清水徹底清洗幹淨，待水份揮發幹以（yǐ）後，裝好泵膽，加入新擴散泵油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機（jī）。在重新（xīn）開機前，要注意檢漏工作。方法是：啟動維持泵，關好（hǎo）大門，數分鍾後，觀察擴散泵部分（fèn）真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯（lián）接處是否裝（zhuāng）密封膠（jiāo）圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱，否則擴散泵油會燒環無法進入工作狀態。
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