當前標（biāo）簽：磁控濺（jiàn）射設備
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主要型號：型（xíng）號功率(kW)最大工作電流(A)外形尺寸（cùn）冷卻方式空載電壓(V)工作電壓(V)MSB-10k1012.51單元風冷1000150~800VMSB-20k20251單元MSB-30k3037.52單元MSB-40k40502單元MS
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