| 無法啟動 | 1. 主電源未接（jiē）通或電壓異常 | 1. 檢查供電線路（lù）（空氣開關、插座），確認（rèn）電壓符合設備額定值（如 380V/220V） |
| 2. 保險管 / 熔斷器燒毀 | 2. 斷電後更換同規格保險管（需確認無短路後再更換，避免再次燒毀） |
| 3. 控製信號（如觸發信號、遠程控製）未輸入 | 3. 檢（jiǎn）查（chá）控製線路（PLC 或（huò）手（shǒu）動（dòng）控製器連接），確保（bǎo）信（xìn）號（hào）電壓 / 電流符合設備（bèi）要求（如 0-10V 模（mó）擬量） |
| 4. 電源內部接觸器或繼（jì）電器故障 | 4. 聯係廠（chǎng）家維修或更換（huàn）接觸器 / 繼電（diàn）器（需專業人員操作） |
| 輸出電壓 / 電流不穩定（dìng） | 1. 輸入電壓波動過大 | 1. 加裝穩壓器穩定供電；檢查電網是（shì）否有其他（tā）大功率設備（bèi）幹擾 |
| 2. 連接線路接觸不良（如電（diàn）纜接頭鬆動） | 2. 斷電後重新緊固電纜接頭（尤其是靶材、電極連接線），清潔接頭氧化層 |
| 3. 真空度不穩定（真（zhēn）空室漏氣或真空泵（bèng）故障） | 3. 檢查真空室密封件（O 型圈），修複漏（lòu）氣點（diǎn）；維護真空泵（換油、清理過（guò）濾器） |
| 4. 電源內（nèi）部電壓反饋電路故（gù）障 | 4. 由廠家校準反饋（kuì）電路或更換損壞元件 |
| 過流（liú）保護頻繁觸發 | 1. 靶材與真空室短路（靶材變形、碎屑搭橋） | 1. 停機後檢查靶材，清理碎屑；更換變形靶（bǎ）材，確保（bǎo）靶材與腔體絕緣 |
| 2. 真空度不足（低於工藝要求） | 2. 延長抽（chōu）真空時間，檢查真空泵性能；修複漏氣點，確保真空度≥1×10⁻³Pa（視（shì）工藝而定） |
| 3. 電源輸出參數設置過（guò）高（如（rú）電流超限（xiàn）） | 3. 降低輸出（chū）電流 / 功率至額定範圍，重新設置參數並保存 |
| 4. 過流保（bǎo）護電路誤動作（元件老化） | 4. 更（gèng）換老化的保護（hù）電路元（yuán）件（如電流傳（chuán）感（gǎn）器、比較器） |
| 電弧放電頻繁 | 1. 真空度偏（piān）低或氣體流量不（bú）穩定 | 1. 提高真空度至工藝（yì）標準；檢查氣體流量計、閥門，確保流量穩定（如氬（yà）氣流量 50-200sccm） |
| 2. 靶材表麵汙染（氧（yǎng）化、油汙） | 2. 清潔靶（bǎ）材表麵（酒精擦拭），或進行預濺射（低功率（lǜ）轟擊 10-20 分鍾） |
| 3. 電源弧抑製參數設置不當 | 3. 調整脈衝電源的弧抑製時間（jiān）（通常 0.1-10μs）和熄弧電流，增強滅弧能力 |
| 4. 基（jī）底與靶材距離過近 | 4. 調整工裝，增（zēng）大基底與靶材間距（通常 50-200mm，視鍍膜（mó）類型而定） |
| 無輸出功（gōng）率 | 1. 控（kòng）製板故障（無觸發信號輸出） | 1. 檢查控製板指示燈，更換損壞的控製板或修複觸發電路 |
| 2. 功率模塊損壞（如（rú） IGBT、晶閘管燒毀） | 2. 檢測功率模塊導通性，更（gèng）換同型號模塊（需專業人員操作，避免靜電損壞） |
| 3. 反饋信號（hào）中斷（如電壓 / 電流傳感器故障） | 3. 檢查傳感器（qì）接線，更換故障傳感器 |
| 顯示異常（亂碼 / 無顯示） | 1. 顯示屏（píng）損壞或排線鬆動 | 1. 重新（xīn）插拔顯示屏排（pái）線；更（gèng）換顯（xiǎn）示屏 |
| 2. 主（zhǔ）控板程序出錯或供電異常 | 2. 重啟電源複位程序；檢查主控板供（gòng）電電壓（通常 5V/12V），修複供電電路 |
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