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北京MSB中頻(pín)磁控濺射真空鍍膜(mó)電源

北京MSB中頻磁控濺射真空鍍膜電源

  • 所屬分(fèn)類:北京(jīng)MSB係列中頻電源
  • 瀏覽次(cì)數:次(cì)
  • 發布日期:2020-10-21 09:42:08
  • 產品概述(shù)
  • 性(xìng)能特點
  • 技術參數(shù)

主要型號:

型號

功(gōng)率(kW)

最大工作電流(A)

外形尺寸

冷卻方式

空載電壓(V)

工作(zuò)電壓(V)

MSB-10k

10

12.5

1單元



風冷



1000



150~800V

MSB-20k

20

25

1單元

MSB-30k

30

37.5

2單元

MSB-40k

40

50

2單元

MSB-20k

20

25

1單元




風水冷




1000




150~800V

MSB-30k

30

37.5

1單元

MSB-40k

40

50

1單元

MSB-60k

60

75

2單元

MSB-80k

80

100

2單元(yuán)

MSB-100k

100

125

3單元

MSB-120k

120

150

3單元

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主要(yào)特點(diǎn):


   A 采用先進的電流型開關(guān)電源(yuán)技術,減小輸出儲(chǔ)能元件,
同時(shí)提高了抑製打火及重啟速度(dù),應用在(zài)鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式(shì)可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模式(shì),
更能保證鍍膜工藝(yì)的重複性。
   C 具有理想的電壓陡降特性,自動識別偽打火現象,
充分滿足磁控濺射工藝(yì)過程(chéng)的連續(xù)性。
   D 主要參數可大範圍調節
   E 可選擇手動控製/模擬量接(jiē)口控(kòng)製(zhì),可選配RS485通訊(xùn)接口。
采用先進的PWM脈寬調製(zhì)技術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工藝嚴(yán)格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製係統,充分保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑(yì)製(zhì)靶材弧光放(fàng)電及抗短路功能,
具有極(jí)佳(jiā)的負載匹配能力(lì),既保證了靶麵清(qīng)洗工藝的穩定性,又提高了靶(bǎ)麵清(qīng)洗(xǐ)速度;
主要參數均可大範圍連續調節;
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接(jiē)口(kǒu)擴展功能,方便實現自(zì)動化控(kòng)製。



MSB係列雙極脈衝磁(cí)控濺射電源(中頻電源)

主要用途:

雙(shuāng)極脈衝磁(cí)控(kòng)濺射電源(yuán)用(yòng)於中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料,特別適合(hé)於反應磁控濺射(shè)。能增加離化率,減少電荷積累引起的異常放電,預防靶表麵(miàn)中毒現象。




離子源電源


真空鍍膜電(diàn)源設備


真空鍍膜電源設備


真空鍍膜電源設(shè)備


真空鍍膜(mó)電源設備


真空鍍膜(mó)電源時,使用直流負偏(piān)壓電源,其中運用直流電(diàn)源,這個電源的電子方向一直(zhí)統一(yī),會導致單(dān)一品種電荷堆積過高與控製源中和(hé)。也就是說用來(lái)提供動力的正負極被中和了。然後磁控濺射將不再持續。所以選用脈衝電源。


在真空中製備膜層,包含鍍製晶態的(de)金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化學汽相堆積也(yě)選用減壓、低壓或等離子體等(děng)真空手法,但一般真空鍍膜是指用物理的辦法堆積薄膜。真空鍍膜有三種方式,即蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。


真空鍍膜技能初現於20世紀30年代,四(sì)五十年代開端呈現(xiàn)工業(yè)使用,工業化大規模出產開端於20世紀80年代(dài),在(zài)電子、宇航、包裝、裝潢(huáng)、燙金印刷等(děng)工業中獲得(dé)廣泛的(de)使用。真空鍍(dù)膜是指在真空環境下,將某種金屬或金屬化合物以氣相的(de)方式堆積到資料外表(通常是(shì)非金屬資料),歸於物理氣相堆積工藝。由於鍍層常為金屬薄膜(mó),故也稱真空金屬化。廣義的真空鍍膜還包含在金屬或非金屬資料外表真空蒸(zhēng)鍍聚合物等非金屬功用性薄(báo)膜。在所有被鍍資猜中,以塑料樶為常見,其次,為紙張鍍膜。相對於金屬、陶瓷、木材等資料,塑料具(jù)有來曆充足、性能易於調控、加工方便等優勢,因此品種繁多的塑料或(huò)其他高分子資料作為工程(chéng)裝修性結構資料,大量使用於轎車、家電、日用包裝、工藝裝修等工業(yè)領域。但塑料資料大多(duō)存(cún)在外表硬度不高、外觀不(bú)行華麗、耐磨性低等缺點,如在塑料外表蒸鍍一(yī)層極薄(báo)的金屬薄膜,即可賦予塑料程亮的金(jīn)屬(shǔ)外觀,合適的金屬源(yuán)還可大大增加資料(liào)外表耐磨(mó)性能,大大拓(tuò)寬了塑料(liào)的裝修性和使用範圍(wéi)。


真空鍍膜(mó)的(de)功用是多方麵的,這也決議了其使(shǐ)用場合非常豐富。整體來說,真空鍍膜的主要功用包含賦予被鍍件外表高度金屬光澤和鏡麵效果,在薄膜資料上使膜(mó)層(céng)具有超卓(zhuó)的隔絕性能(néng),提供優異的電磁屏蔽和導電效果。


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