偏壓電源類（lèi）型

脈衝偏壓（yā）電源是真空電弧離子鍍和磁控濺射鍍膜或其他真空物理氣（qì）相（xiàng）沉積設備的重要組成部分，對於不同的鍍膜工（gōng）藝，偏壓電源也分為不同（tóng）的類型（xíng）

根據波形可以分為：

一（yī）、直流偏壓電源

二、直流脈衝偏置

主要特點

1.高頻單極脈（mò）衝對工件施（shī）加偏壓，與（yǔ）直流偏壓相比，由於電壓中（zhōng）斷間（jiān）隙的存在（zài），可以有效減少點火次數，保護工件表麵。

2.在脈衝間隙期間，可以中和工件（jiàn）表麵積聚的電荷，從而減（jiǎn）少表麵電荷積聚引起的點火。

3.高頻逆變（biàn）器技術的快速關斷能力（lì）可以有效地減少每個火花釋放的能量，即使在火（huǒ）花出現時，也（yě）可以顯著降低工件（jiàn）表麵的大損傷程度。

4.在脈衝（chōng）間隙期間沉積（jī）到工件表麵的離子能量非常低。

5.可以通過調節頻率和占空比（bǐ）來（lái）提高和控製成膜速（sù）度和質量。

三、直流疊（dié）加脈衝偏置

主要特點

1.具有單（dān）極脈衝（chōng）偏置電源的所有特（tè）性。

2.在直流和直流（liú）疊加脈衝模式（shì）下，消除了單極脈衝間隙之（zhī）間離子能量低的問題。

四、雙（shuāng）極脈衝偏置

主（zhǔ）要特點

1.負脈衝的作用與單極脈衝偏置電源相同，正脈衝的作用主（zhǔ）要是吸引等離子體中的電子，以中和工件表麵正電荷的（de）積累。因為（wéi）電子的質量比離（lí）子的質量（liàng）小得多，加速很容易，所以正脈衝的振幅比負脈（mò）衝的振幅小得多——通常（cháng）為10~100V，正負脈衝的電流積分應（yīng）該相等。因此，正電源的功率遠小於負電源的功率。

2.當正電（diàn）源電壓為零時，雙極脈衝偏壓變為單極脈衝偏壓。