真空鍍膜電源采用先進的PWM脈(mò)衝寬度調製技術性,具備良好的動態性性能和抗幹擾性才可以,動態(tài)性映襯時時刻刻十分小(xiǎo)。整體(tǐ)規劃有工作電壓.電流量雙閉環(huán)控製操控電源電路,可即時對輸出電流電壓的操(cāo)控。在起弧和維弧時要積極急速操控電流(liú)電(diàn)壓使起(qǐ)弧和維弧工作更穩定,減壓穩壓閥精密度(dù)大大的發展,能有(yǒu)效(xiào)節約濺射靶材使(shǐ)用量(liàng),發展生產能力,保證(zhèng) 鍍膜品質。
真空機電源的大的特點及產品優點:采用了先進的PWM脈衝寬度調製技術性,具備良好的動態性性能和抗幹擾(rǎo)性才可以,動態性映襯時時刻刻低於10mS。整體規劃有工(gōng)作電壓.電流量雙閉環控製操控電源電路,可即時對輸出電(diàn)流電壓的操控,能有效解決磁(cí)控濺射流程中負(fù)極相對孔徑的不清理造成(chéng)電光(guāng)充放電導致大電流量衝擊性造(zào)成電源的毀壞疑(yí)惑(huò)。

采用智能化DSP操(cāo)控技術(shù)性,積極操控電源的恒流(liú)源(yuán)恒流電源情況。在起弧和維弧時要積極急速操控(kòng)電流電壓使起弧和維弧工作更穩定。具(jù)備工作電(diàn)壓陡降特點,可充足令人(rén)滿(mǎn)意射頻濺射的特別(bié)要求(qiú)。
電源的輸出電流電壓操控精密度低於0.2%。具備模擬量輸入操控插口,客(kè)戶的4-20mA數(shù)據信號能操控電源的電流電壓,電源輸出4-20mA數(shù)據信號供客戶的PLC呈現電源的(de)輸出電流電壓。電源的功率因素達到0.95,電源輸出功率≥90%。