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南京中頻磁控濺射電源設備(bèi)廠1、DEF-6B電子槍電源櫃的操作:1)打開總電源(yuán)2)同時開電子槍控製Ⅰ和(hé)電子槍控製(zhì)Ⅱ電源:按電子槍控製Ⅰ電源、延時開關,延時、電(diàn)源及保護燈亮,三(sān)分鍾後延時及保護燈滅,若後門(mén)未關好或(huò)水流(liú)繼電(diàn)器有故障,保護燈會常亮(liàng)。3)開高壓,高壓會達(dá)到10KV以上,調節束流可到200mA左(zuǒ)右(yòu),簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,優質中頻磁控濺射電源設備廠(chǎng)偏(piān)轉電流在1~1.7之間擺動。2、關機順序:1)關高真空表頭、關(guān)分子(zǐ)泵。2)待分子泵顯示到50時(shí),依次關高(gāo)閥、前級、機械泵(bèng),這期間約需40分(fèn)鍾。3)到50以下(xià)時,再關維持泵。

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